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申请/专利权人：河北光兴半导体技术有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请日：2023-05-29
公开（公告）日：2023-09-08
公开（公告）号：CN219658724U
主分类号：H01L31/18
分类号：H01L31/18;H01L31/101;H01L21/673;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2023.09.08#授权
摘要：本公开提供一种芯片扩散用片源放置结构及系统，属于芯片扩散设备技术领域。该芯片扩散用片源放置结构具有支撑面和扩散斜面；支撑面和扩散斜面相对设置；扩散斜面倾斜设置并与支撑面呈角度设置；扩散斜面均匀隔设有多个用于放置片源的舟槽；舟槽的尺寸大于片源的尺寸以使片源活动插设于舟槽，以实现所有的片源在其自身重力作用下均朝向同一侧倾斜以垂直于扩散斜面；舟槽的槽长方向沿第二方向延展，舟槽的槽宽方向沿扩散斜面的倾斜方向延展，舟槽的槽深方向垂直扩散斜面。本公开使相邻片源的间距相同，确保扩散气流能够均匀的充满每个片源的两侧，降低片源表面掺杂浓度波动，消除因片间距不一致导致的各片源掺杂效果产生差异的不利因素。
主权项：1.一种芯片扩散用片源放置结构，其特征在于，其具有支撑面11和扩散斜面12；其中，所述支撑面11和所述扩散斜面12相对设置；所述扩散斜面12沿第一方向倾斜设置并与所述支撑面11呈角度设置；所述扩散斜面12沿其自身倾斜方向均匀隔设有多个用于放置片源3的舟槽13；所述舟槽13的尺寸大于所述片源3的尺寸以使所述片源3活动插设于所述舟槽13，以实现所有的所述片源3在其自身重力作用下均朝向同一侧倾斜以垂直于所述扩散斜面12；所述舟槽13的槽长方向沿第二方向延展，所述舟槽13的槽宽方向沿所述扩散斜面12的倾斜方向延展，所述舟槽13的槽深方向垂直所述扩散斜面12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北光兴半导体技术有限公司;北京远大信达科技有限公司 芯片扩散用片源放置结构及系统
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