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申请/专利权人：广东科视光学技术股份有限公司
摘要：本申请涉及曝光机的LDI曝光机用固定装置技术领域，尤其涉及一种LDI曝光机用防跑位装置。LDI曝光机用防跑位装置包括下框组件和上框组件。下框组件包括下台板，下台板开设有第一抽真空孔，通过从第一抽真空孔处抽真空，待曝光件吸附于下台板。上框组件包括上台板，上框组件与下框组件合框后，上台板将待曝光件压持于下台板。通过下台板对待曝光件进行承载，通过在第一抽真空孔处进行抽真空对待曝光件进行吸附，通过上台板对待曝光件进行压持。如此，使在通过LDI技术对待曝光的样品进行曝光的过程中，对待曝光的样品进行固定，减小待曝光的样品跑位的风险，使曝光效果符合预期。
主权项：1.一种LDI曝光机用防跑位装置，其特征在于，包括：下框组件，所述下框组件包括下台板，所述下台板开设有第一抽真空孔，通过从所述第一抽真空孔处抽真空，使待曝光件吸附于所述下台板；上框组件，所述上框组件包括上台板，所述上框组件与所述下框组件合框后，所述上台板将待曝光件压持于所述下台板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东科视光学技术股份有限公司 LDI曝光机用防跑位装置
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