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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日：2023-10-30
公开（公告）日：2024-01-30
公开（公告）号：CN117470093A
主分类号：G01B9/02
分类号：G01B9/02;G01B11/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开
摘要：本发明公开了一种双重入射Littrow式光栅干涉仪及其测量方法，以解决现有的光栅干涉仪精度低且稳定性不足的技术问题。具体包括双频激光器、第一平行平板镜、第二平行平板镜等；双频激光器出射两束具有固定频差的正交线偏振光；第一平行平板镜设置在正交线偏振光所在光路上；第二平行平板镜位于第一光束和第二光束所在光路上，将第二束光分为两束参考光；偏振分光棱镜包括四侧，其中第一侧与第三侧相对，第二侧与第四侧相对，且第一侧与第二平行平板镜对应；第三侧出射的光线所在光路上用于设置待测光栅；第一反射棱镜和第二反射棱镜分别设置于第四侧和第二侧出射光线所在的光路上；第一光纤耦合器和第二光纤耦合器均设置于偏振分光棱镜的第一侧。
主权项：1.一种双重入射Littrow式光栅干涉仪，其特征在于：包括双频激光器1、第一平行平板镜2、第二平行平板镜3、偏振分光棱镜4、第一反射棱镜5、第二反射棱镜6、第一光纤耦合器901和第二光纤耦合器902；所述双频激光器1出射两束具有固定频差的正交线偏振光；所述第一平行平板镜2设置在所述正交线偏振光所在光路上，用于将正交线偏振光分光形成第一光束和第二光束；所述第二平行平板镜3位于第一光束和第二光束所在光路上，用于将第一光束分为两束测量光，并将第二束光分为两束参考光；所述偏振分光棱镜4包括四侧，其中第一侧与第三侧相对，第二侧与第四侧相对，且第一侧与第二平行平板镜3对应；所述第三侧出射的光线所在光路上用于设置待测光栅8，并使第三侧出射的光线能够以Littrow角度入射至待测光栅8；所述第一反射棱镜5和第二反射棱镜6分别设置于第四侧和第二侧出射光线所在的光路上，用于通过两次反射改变从偏振分光棱镜4出射的光线路径并使其再次入射至偏振分光棱镜4；所述第一光纤耦合器901和第二光纤耦合器902均设置于偏振分光棱镜4的第一侧，并各接收一束测量光和一束参考光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 双重入射Littrow式光栅干涉仪及其测量方法
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