申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2024-04-12

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN118258337A

主分类号：G01B21/00

分类号：G01B21/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.28#公开

摘要：本发明涉及曲面光栅领域，具体涉及一种用于曲面光栅基底坐标测量的测量装置以及测量方法，测量装置包括第一单轴转台、第二单轴转台、三轴位移调整台、基底夹具、测微仪探头以及控制单元，测微仪探头采集曲面光栅基底的位置信息，控制单元根据位置信息获得调节模式，并根据调整模式调节三轴位移调整台的位移，并在多次调整后使曲面光栅基底的安装精度置于预设安装精度范围内；对曲面光栅基底的位移调整精度高，操作便利，方便调整结束后再次测量曲面光栅基底中多个接触点的位置信息，提高基底安装位置精度，对于不同曲率半径的曲面光栅基底，测微仪探头可根据曲面光栅基底进行位置调整。

主权项：1.一种用于曲面光栅基底坐标测量的测量装置，其特征在于，包括：第一单轴转台，具有第一承载平台，所述第一承载平台用于沿第一方向转动；第二单轴转台，设置在所述第一承载平台上，所述第二单轴转台具有第二承载平台，所述第二承载平台用于沿第二方向转动，所述第一方向与所述第二方向垂直；三轴位移调整台，包括第一调节部、第二调节部以及第三调节部，所述第一调节部设置在所述第二承载平台上，所述第二调节部设置在所述第一调节部上，所述第三调节部设置在所述第二调节部上，所述第一调节部可沿第一方向移动，所述第二调节部可沿第二方向移动，所述第三调节部可沿第三方向移动，所述第一方向、第二方向与所述第三方向相互垂直；基底夹具，设置在所述第三调节部上，所述基底夹具具有夹持区，所述夹持区用于夹持曲面光栅基底；测微仪探头，朝向所述曲面光栅基底设置，所述测微仪探头用于在所述第一单轴转台转动时陆续采集所述曲面光栅基底的第一预设数量的第一位置信息，和或，所述测微仪探头用于在所述第二单轴转台转动时陆续采集所述曲面光栅基底的第一预设数量的第二位置信息；控制单元，与所述测微仪探头、第一单轴转台、第二单轴转台以及三轴位移调整台电连接，所述控制单元用于控制所述第一单轴转台转动第一预设角度，以使所述测微仪探头陆续采集所述第一位置信息，和或，所述控制单元还用于控制所述第二单轴转台转动第二预设角度，以使所述测微仪探头陆续采集所述第二位置信息，所述控制单元还用于根据所述第一位置信息和或所述第二位置信息获得调节模式，并根据所述调整模式调节所述三轴位移调整台的位移，以调节所述曲面光栅基底的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种用于曲面光栅基底坐标测量的测量装置以及测量方法

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