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申请/专利权人：马克思-普朗克科学促进协会
摘要：本发明涉及一种作为磊晶模板的主体基板表面的制法、磊晶模板及包括这种磊晶模板的装置。
主权项：1.一种作为磊晶模板的单晶晶圆表面的制法，该表面包括表面原子和或表面分子，该单晶晶圆包括由作为基板成分的两种或多种元素和或两种或多种分子所组成的单晶，每一种元素和分子各自具有升华速率，其中，该制法包括以下步骤：提供具有定义的斜切角和方向的单晶晶圆基板；将该基板加热到该表面原子和或该表面分子能够沿着该表面重建和或迁移的温度，以形成具有最小步阶密度且步阶边缘根据预限定的该斜切角和该斜切方向定向的配置；以及将该基板加热到具有最高升华速率的该基板成分的原子或分子能够离开该表面的温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 马克思-普朗克科学促进协会 作为磊晶模板的单晶晶圆表面的制法、磊晶模板及装置
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