龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：杭州美迪凯光电科技股份有限公司
申请日：2023-11-02
公开（公告）日：2024-03-01
公开（公告）号：CN117619689A
主分类号：B05D1/26
分类号：B05D1/26;B08B5/02;B08B3/02;G03F7/16
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.03.19#实质审查的生效;2024.03.01#公开
摘要：本发明公开了一种LT与LN来料裸片涂布工艺。本发明工艺通过NMP浸泡产生化学反应，改变LTLN表面的性质，提高片子洁净度，减小水滴角，提升旋涂涂胶时对胶的附着力，再通过剥离清洗，使其表面保持干净、干燥，既能解决LT与LN来料裸片旋涂涂胶时涂不满的现象，又能充分提高产品质量和良率。
主权项：1.一种LT与LN来料裸片涂布工艺，其特征是，其工艺步骤为：S1、将LT与LN来料裸片放入去胶机内浸泡槽卡槽内用NMP进行一段时间的浸泡；S2、浸泡结束后，将LT与LN来料裸片输送至剥离腔，在剥离腔中用NMP对LT与LN来料裸片的表面进行剥离，去除表面残留物；S3、将完成步骤S2的LT与LN来料裸片传送至清洗腔，在清洗腔中用IPA与N2通过喷嘴进行冲洗和喷吹，冲洗完成后继续使用DIW通过喷嘴进行冲洗，将表面的NMP残液去除干净；S4、将完成步骤S3的LT与LN来料裸片甩干，并通过旋涂工艺对LT与LN来料裸片进行旋涂，完成整个LT与LN来料裸片涂布工艺。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 一种LT与LN来料裸片涂布工艺
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号