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申请/专利权人：尚越光电科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种卷对卷柔性CIGS吸收层碱金属后处理设备，解决现有的柔性CIGS太阳能电池片的碱金属PDT处理水平不高的问题。本装置包括真空腔，真空腔两侧分别设有放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送柔性基板，柔性基板底面有CIGS层，放卷轴和收卷轴之间的柔性基板沿输送方向依次设有碱金属前驱体镀膜区、硒化区和冷却区，碱金属前驱体镀膜区的下方设有碱金属源，硒化区下方设有硒源，所述碱金属前驱体镀膜区、硒化区柔性基板上方分别设有上加热器。本发明实现了带有CIGS吸收层的柔性基底的碱金属后处理工艺，PDT处理效果好，可以有效提升了太阳能电池片的性能。
主权项：1.一种卷对卷柔性CIGS吸收层碱金属后处理设备，包括真空腔，真空腔内的两侧分别设有放卷轴和收卷轴，放卷轴和收卷轴之间收放输送柔性基板，其特征在于：柔性基板底面有CIGS层，放卷轴和收卷轴之间的柔性基板沿输送方向依次设有碱金属前驱体镀膜区、硒化区和冷却区，碱金属前驱体镀膜区的下方设有碱金属源，硒化区下方设有硒源，所述碱金属前驱体镀膜区和硒化区的柔性基板上方分别设有上加热器；碱金属前驱体镀膜区采用封闭式设计；硒化区采用隧道式的结构，隧道结构的两端封闭形成相对密封的腔体；所述硒源下方设置有重力传感器，硒源和重力传感器之间设有双层绝热板，双层绝热板包括上下两块绝热板，上下两块绝热板之间设有水冷管，水冷管与两层绝热板以及支撑杆均无任何接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 尚越光电科技股份有限公司 一种卷对卷柔性CIGS吸收层碱金属后处理设备
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