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申请/专利权人：应用材料公司
申请日：2022-08-16
公开（公告）日：2024-05-03
公开（公告）号：CN117981067A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/687
优先权：["20210825 US 17/411,926"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.21#实质审查的生效;2024.05.03#公开
摘要：示例性基板处理系统可包括限定传送区域的腔室主体。系统可包括安置在腔室主体上的盖板。盖板可限定第一多个孔和第二多个孔。系统可包括与第一多个孔的数量相等的多个盖堆叠。每个盖堆叠可包括扼流板，所述扼流板沿着扼流板的第一表面安置在盖板上。扼流板可限定与第一多个孔中的相关联孔轴向对齐的第一孔。扼流板可限定与第二多个孔中的相关联孔轴向对齐的第二孔。扼流板可限定从扼流板的顶表面和底表面中的每一者延伸的突出部，所述突出部围绕第一孔基本对称地布置。
主权项：1.一种基板处理系统，包含：腔室主体，所述腔室主体限定传送区域；盖板，所述盖板安置在所述腔室主体上，其中所述盖板限定穿过所述盖板的第一多个孔和穿过所述盖板的第二多个孔；以及多个盖堆叠，所述多个盖堆叠与穿过所述盖板限定的所述第一多个孔的孔的数量相等，其中所述多个盖堆叠至少部分地限定从所述传送区域垂直偏移的多个处理区域，并且其中所述多个盖堆叠中的每个盖堆叠包含：扼流板，所述扼流板沿着所述扼流板的第一表面安置在所述盖板上，其中：所述扼流板限定与所述第一多个孔中的相关联孔轴向对齐的第一孔，且其中所述扼流板限定与所述第二多个孔中的相关联孔轴向对齐的第二孔；以及所述扼流板限定从所述扼流板的第一表面延伸的第一组突出部，所述第一组突出部围绕所述第一孔基本对称地布置；所述扼流板在所述第一组突出部上安置在所述盖板上；所述扼流板限定从所述扼流板的第二表面延伸的第二组突出部，所述第二组突出部围绕所述第一孔基本对称地布置；泵送衬垫，所述泵送衬垫安置在所述扼流板的所述第二组突出部上；面板，所述面板安置在所述泵送衬垫上。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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