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【发明公布】波阵面分割型单程正交光路干涉仪_董仕_202280009035.4 

申请/专利权人:董仕

申请日:2022-08-16

公开(公告)日:2024-05-07

公开(公告)号:CN117999455A

主分类号:G01B9/02

分类号:G01B9/02

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开

摘要:基于波阵面分割、参考光束和测量光束的光路传播路径为单程、并以正交合束的方式构成的干涉仪装置,可用于测量物质的各向异性参数、测距、测速、位移、倾角、运动状态、流速等物理参量的精密测量。基于干涉为基础测量手段,通过叠加空间正交的两相干光信号、再由光电传感器测得的叠加场强信号导出两信号相位差的一种检测手段;并利用被测目标的空间特征向量与有效光束垂直和平行时的观测相位差,去逆向求取被测目标各向异性特征物理量的一种方法。具有两种基本类型的设计模式,一种是基于信号延时器和光路转折器(12)构成的2D平面结构光路构成,另一种是基于双光路转折器(21,22)构成的3D立体结构光路构成,两种设计具有相同的功能。

主权项:一种基于2D结构设计的波阵面分割型单程正交光路干涉仪装置,其特征在于使用波阵面为平面波的平行光作为光源,通过分割该波阵面分别进入参考光束通道和测量光束通道,参考光束通道的光束通过一个光延时器11后进入有效参考光束工作区、测量光束通道的光束通过一个90°的光路转折器12后进入有效测量工作区,通过调整光延时器11和光路转折器12的位置和姿态使进入有效区的这两束光的轴心线17、18正交于半透半反镜13的反射膜层进行合束、且与反射膜层的面夹角θ12、θ13同为45°,同时还通过调整使有效参考光束工作区的光束轴心线长度Lr与有效测量工作区的光束轴心线长度Lm相等,通过调整光延时器的延时量使初始状态时光源发射出的同一波阵面到达半透半反镜的时间相同,合束后的干涉光束通过一个干涉结果检测器14进行测量、得到参考光束和测量光束的相位差。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 董仕 波阵面分割型单程正交光路干涉仪

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