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低压高功率三维可调He微波诱导等离子体离子源 

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申请/专利权人:中国地质大学(武汉);上海大学

摘要:本发明涉及分析仪器技术领域,并公开了一种低压高功率三维可调He微波诱导等离子体离子源,包括壳体、真空波纹管、微波发生器以及双层炬管,壳体设有具有第一开口和第二开口的容设腔,第一开口和第二开口相对设置,真空波纹管靠近壳体的端部设有调节组件,调节组件活动设于容设腔,调节组件设有多个调节部,多个调节部穿设于壳体并在壳体的外侧显露,真空波纹管形成有对接口,对接口在第二开口处显露并用以对接分析仪,真空波纹管内设有外管,外管内形成有微波谐振腔。在本发明技术方案中,当针对不同样品电离时,操作人员可通过调节不同的调节部来调节真空波纹管的位置,从而使得磁质谱的接口可以对准元素的最佳电离区域,达到更好的分析效果。

主权项:1.一种低压高功率三维可调He微波诱导等离子体离子源,其特征在于,包括:壳体,所述壳体设有具有第一开口和第二开口的容设腔,所述第一开口和所述第二开口相对设置;真空波纹管,所述真空波纹管靠近所述壳体的端部设有调节组件,所述调节组件活动设于所述容设腔,所述调节组件设有多个调节部,多个所述调节部穿设于所述壳体并在所述壳体的外侧显露,所述真空波纹管形成有对接口,所述对接口在所述第二开口处显露并用以对接分析仪,所述真空波纹管内设有外管,所述外管朝向所述第一开口的一侧延伸设置并在所述第一开口处显露,所述外管内形成有微波谐振腔;微波发生器,所述微波发生器设于所述外管并与所述微波谐振腔相连通,用以在所述微波谐振腔内产生微波;以及双层炬管,所述双层炬管设于所述真空波纹管,并位于所述微波谐振腔,所述双层炬管远离所述对接口的一端设有加样端。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国地质大学(武汉) 上海大学 低压高功率三维可调He微波诱导等离子体离子源

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