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申请/专利权人：天津大学
申请日：2022-11-09
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118046680A
主分类号：B41J2/14
分类号：B41J2/14;B41J2/16;B29C64/20;B33Y30/00
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本申请实施例提供一种具有补液结构的声学液滴喷射方法、装置及其制造方法。所述装置包括：所述装置包括：衬底，体声波驱动器以及液体腔；所述液体腔内具有能够容纳液体层的腔室以及能够对所述液体层进行补液的补液通道。由此，通过补液通道，即使在高通量的喷射时也能及时地补充液体，有效地保证喷射时液面高度的稳定性，实现长时间的喷射。
主权项：1.一种具有补液结构的声学液滴喷射装置，其特征在于，所述装置包括：衬底；体声波驱动器，其位于衬底的上侧并具有振动区域；以及液体腔，其至少部分位于所述体声波驱动器的上侧，所述液体腔内具有能够容纳液体层的腔室以及能够对所述液体层进行补液的补液通道；其中，所述体声波驱动器包括：声反射层，其位于所述衬底的上侧；第一电极，其位于所述声反射层的上侧；压电层，其至少部分位于所述第一电极的上侧；第二电极，其位于所述压电层的上侧；其中所述第一电极、所述压电层和所述第二电极在垂直于所述衬底的方向上至少部分重叠以形成所述振动区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 具有补液结构的声学液滴喷射方法、装置及其制造方法
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