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申请/专利权人：天津大学
申请日：2022-11-09
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN118046681A
主分类号：B41J2/14
分类号：B41J2/14;B41J2/16;B41J2/045;B29C64/106;B29C64/209;B29C64/393;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y50/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.04#实质审查的生效;2024.05.17#公开
摘要：本申请实施例提供一种集成电路控制的声学液滴喷射方法、装置及其制造方法。所述装置包括：衬底；集成电路，其位于所述衬底上；体声波驱动器，其位于所述衬底的上侧并具有振动区域。在本申请实施例中，通过衬底上的集成电路来控制液滴喷射装置，能够兼容CMOS工艺，阵列后的驱动器控制方式灵活且尺寸较小。
主权项：1.一种集成电路控制的声学液滴喷射装置，其特征在于，所述装置包括：衬底；集成电路，其位于所述衬底上；以及体声波驱动器，其位于所述衬底的上侧并具有振动区域；其中，所述体声波驱动器包括：声反射层，其位于所述衬底的上侧；第一电极，其位于所述声反射层的上侧，所述第一电极通过第一接口部与所述集成电路的第一导电部连接；压电层，其至少部分位于所述第一电极的上侧；第二电极，其位于所述压电层的上侧，所述第二电极通过第二接口部与所述集成电路的第二导电部连接；其中所述第一电极、所述压电层和所述第二电极在垂直于所述衬底的方向上至少部分重叠以形成所述振动区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 集成电路控制的声学液滴喷射方法、装置及其制造方法
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