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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
申请日：2023-03-15
公开（公告）日：2024-05-17
公开（公告）号：CN116577334B
主分类号：G01N21/88
分类号：G01N21/88;G01N21/01;G02B21/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.17#授权;2023.08.29#实质审查的生效;2023.08.11#公开
摘要：本发明公开了一种基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法，属于光学精密测量技术领域。包括矢量偏振照明光产生模块、光束扫描照明模块和差分暗场共焦成像模块；通过调整半波片和涡旋波片，分别产生径向偏振信号光和角向偏振信号光，并控制声光调制器将光束调制为脉冲形式，实现在同一周期内，径向偏振信号光和角向偏振信号光交替进行照明，时间占比均为50％。同时利用照射在待测样品反射后的矢量偏振光偏振态不发生改变的特性，经由涡旋波片和偏振片，只收集散射信号。同时分析径向偏振信号光和角向偏振信号光分别照明下的散射信号差值，可以对亚表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息进行超分辨检测成像。
主权项：1.基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置，其特征在于：包括矢量偏振照明光产生模块、光束扫描照明模块和差分暗场共焦成像模块；矢量偏振照明光产生模块按照光线传播方向依次为：激光器（1）、非偏振分束器一（2），非偏振分束器一（2）将激光传播路径分为两路：第一路按照光线传播方向依次为：声光调制器一（3）、直角反射镜一（4）、半波片一（5）、涡旋波片一（6）、直角反射镜二（7）和非偏振分束器二（11）；第二路按照激光光线传播方向依次为：声光调制器二（8）、半波片二（9）、涡旋波片二（10）和非偏振分束器二（11）；非偏振分束器二（11）将第一路和第二路激光光线合束传播至光束扫描照明模块；光束扫描照明模块按照光线传播方向依次为：扩束器（12）、孔径光阑（13）、非偏振分束器三（14）、物镜（15）和待测样品（16），非偏振分束器三（14）将激光光线分为两路，一路经物镜（15）传播至待测样品（16），另一路传播至差分暗场共焦成像模块；差分暗场共焦成像模块按照光线传播方向依次为：涡旋波片三（18）、偏振片（19）、聚焦透镜（20）、单模光纤（21）和PMT探测器（22）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 基于矢量偏振光束的差分暗场共焦显微测量装置与方法
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