龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：山东省宝丰镀膜有限公司
摘要：本申请公开了一种悬浮式卷绕磁控阴极轰击蒸发成膜系统，包括磁控阴极、蒸发源、阴极电源及气体供应装置，阳离子源等；所述磁控阴极安装于真空卷绕室与真空蒸镀室隔离部分，磁控阴极正下方安装蒸发源，磁控阴极接电源负极，真空蒸镀室接电源正极，所述磁控阴极下面有柔性基材悬浮通过，蒸发源蒸发镀层材形成的气态粒子向柔性基材表面运动并在柔性基材表面成膜，磁控阴极以形成吸附阳离子的阴极电场和约束阳离子运动的约束磁场，阳离子以高速度撞击到柔性基材表面时，利用阳离子轰击力对蒸发成膜层原子进行轰击，减少膜层中的孔隙和缺陷，轰击力使柔性基材表面镀层更致密，膜层与基材结合牢度更高，提高成膜的整体密实度和成膜质量。
主权项：1.一种悬浮式卷绕磁控阴极轰击蒸发成膜系统，其特征在于，包括磁控阴极、蒸发源、阴极电源，气体供应装置；所述磁控阴极安装于真空卷绕室与真空蒸镀室隔离部分，磁控阴极正下方安装蒸发源，磁控阴极接电源负极，真空蒸镀室接电源正极，所述磁控阴极下面有柔性基材悬浮通过，蒸发源蒸发镀材形成的气态粒子向柔性基材表面运动并在柔性基材表面成膜；磁控阴极能够吸引阳离子朝向柔性基材表面运动，磁控阴极表面形成约束磁场，以捕获阳离子形成轰击区，阳离子轰击到悬浮的柔性基材表面，使柔性基材镀层更致密，提升膜层与基材结合力，使镀膜牢度更高。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东省宝丰镀膜有限公司 一种悬浮式卷绕磁控阴极轰击蒸发成膜系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号