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申请/专利权人：江苏雅克福瑞半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了用于制造半导体芯片的高粘稠度化学品的输送及冲洗系统，包括多个化学品储罐，多个所述化学品储罐的底部均贯穿固定有第一输送结构，且第一输送结构的一端设置有同一个驱动机构；混合罐，所述混合罐固定安装在所述第一输送结构的一端，且位于两侧的所述第一输送结构的一端延伸入所述混合罐的内部。本发明中有效的对高粘稠度化学品进行边输送边混合处理，提高后续对半导体芯片的清洗效果，并便于去除半导体芯片表面的各种杂质，使得涂覆清洗区域与冲洗区域设置为一体并采用同一动力驱动，降低整个冲洗系统的耗能性，也便于对涂覆清洗区域和冲洗区域进行调节，避免出现一定的化学品和高纯水浪费的现象。
主权项：1.用于制造半导体芯片的高粘稠度化学品的输送及冲洗系统，其特征在于，包括多个化学品储罐1，多个所述化学品储罐1的底部均贯穿固定有第一输送结构3，且第一输送结构3的一端设置有同一个驱动机构2；混合罐4，所述混合罐4固定安装在所述第一输送结构3的一端，且位于两侧的所述第一输送结构3的一端延伸入所述混合罐4的内部，位于中间位置的所述第一输送结构3的一端贯穿所述混合罐4的底部；第二输送结构5，所述第二输送结构5的一端延伸入所述混合罐4的内部并与位于中间位置的所述第一输送结构3的一端相固定；涂覆组件11，所述涂覆组件11转动设置在所述第二输送结构5的另一端；冲洗组件7，所述冲洗组件7固定在所述涂覆组件11的一端；宽度调节组件6，所述宽度调节组件6设置在所述冲洗组件7的一端和所述涂覆组件11的另一端之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏雅克福瑞半导体科技有限公司 用于制造半导体芯片的高粘稠度化学品的输送及冲洗系统
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