申请/专利权人：西安交通大学

申请日：2022-04-26

公开（公告）日：2024-05-28

公开（公告）号：CN114965526B

主分类号：G01N23/2055

分类号：G01N23/2055

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.05.28#授权;2022.09.16#实质审查的生效;2022.08.30#公开

摘要：公开了基于高能束衍射的单晶材料两相错配度测量方法，方法中，高能束衍射得到包含一个衍射峰的衍射数据，建立空间直角坐标系，根据空间直角坐标系内点Hi对应的衍射强度IH，i计算所有网格点Pj对应的衍射强度Ij以及所有衍射强度Ij；根据网格点Pj及其对应的衍射强度Ij，使用三维寻峰方法计算各衍射亚峰的中心点坐标μp、方差∑p与每个衍射亚峰中衍射强度最强的点对应的衍射强度Imax，p，分割来自不同衍射亚峰的强度；选择具有最强衍射强度Imax，p的衍射亚峰积分获得其Icurve，s和kcurve，s，使用双峰拟合函数进行拟合，获得峰中心的横坐标kcenter，1和kcenter，2，计算两相错配度δ。

主权项：1.一种基于高能束衍射的单晶材料两相错配度测量方法，其特征在于，其包括以下步骤：第一步骤，高能束衍射得到包含一个衍射峰的衍射数据，建立空间直角坐标系，将所述衍射数据在所述空间直角坐标系内以点Hi表示，其坐标表示为ΔθH，i，ΔχH，i，kH，i，所述点Hi具有衍射强度IH，i，其中kH，i表示衍射数据点i对应的衍射矢量的模长，ΔθH，i表示衍射数据点i对应的布拉格角与衍射峰理论布拉格角的差值，ΔχH，i表示衍射数据点i的出射束与衍射峰理论出射束与高能束定义的平面的夹角，其1≤i≤n，n为衍射数据的个数，所述空间直角坐标系中设置网格点Pj，其坐标表示为xj＝Δθj，Δχj，kj，所述网格点Pj在坐标系x轴方向和坐标系y轴方向上的间距为角度分辨率Δβ，在坐标系z轴方向上的间距为长度分辨率Δk，所述网格点Pj在坐标系x轴方向上的分布范围为所有ΔθH，i的最小值到最大值，所述网格点Pj在坐标系y轴方向上的分布范围为所有ΔχH，i的最小值到最大值，所述网格点Pj在坐标系z轴方向上的分布范围为所有kH，i的最小值到最大值，其中1≤j≤m，m为所述网格点Pj的个数；第二步骤，根据所述空间直角坐标系内所述点Hi对应的衍射强度IH，i计算所有所述网格点Pj对应的衍射强度Ij以及所有所述衍射强度Ij的总和Isum，将所有所述网格点Pj对应的衍射强度Ij修正为其原值与所述Isum的商；第三步骤：根据所述网格点Pj及其对应的衍射强度Ij使用三维寻峰方法计算各衍射亚峰的中心点坐标μp、方差∑p与每个衍射亚峰中衍射强度最强的点对应的衍射强度Imax，p，同时，定义参数其中1≤p≤l，l为三维寻峰中寻得的衍射亚峰的个数，p表示在寻得多个衍射亚峰时表示各参数对应的衍射亚峰的序号，中心点坐标μp为三维矢量，方差∑p为3*3矩阵；定义收敛参数ζ；第四步骤，基于所述网格点Pj的坐标xj＝Δθj，Δχj，kj、所述网格点Pj对应的衍射强度Ij、参数αp、中心点坐标μp和方差，根据公式计算R的值，其中1≤j≤m，m为所述网格点Pj的个数；第五步骤：根据公式与所述xj、μp、αp和∑p计算γp，j的值；第六步骤：根据公式和与所述γp，j、xj、Ij重新计算μp和αp的值，根据公式与所述γp，j、xj、Ij和μp，重新计算∑p的值；第七步骤，根据重新计算的所述αp、μp与∑p，使用第四步骤中的所述公式重新计算R的值，如果重新计算的R的值与其原来的值相差大于所述收敛参数ζ，则回到第五步骤，如小于所述收敛参数ζ，则进行第八步骤；第八步骤：选择所述衍射强度Imax，p最大的衍射亚峰为所需分析的衍射亚峰，如果其中所需分析的衍射亚峰为所有衍射亚峰中的第w个衍射亚峰，将所有所述网格点Pj对应的衍射强度Ij修改为γw，j·Ij，γw，j为当p＝w时的γp，j；将所述空间直角坐标系中z轴坐标值相同的所有所述网格点Pj对应的衍射强度求和，并将其定义为Icurve，s，每个Icurve，s对应的所述坐标系中z轴坐标值为kcurve，s，其中1≤s≤C，C表示所有所述网格点Pj中不同的z轴坐标值的个数，使用双峰拟合函数拟合所有以Icurve，s为纵坐标，以每个Icurve，s对应的为kcurve，s横坐标的点，获得峰中心的横坐标分别为kcenter，1和kcenter，2，根据公式计算两相错配度δ。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安交通大学 基于高能束衍射的单晶材料两相错配度测量方法

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