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申请/专利权人：季华实验室
申请日：2023-02-23
公开（公告）日：2024-05-28
公开（公告）号：CN116043196B
主分类号：C23C16/517
分类号：C23C16/517;C23C16/52
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.28#授权;2023.05.19#实质审查的生效;2023.05.02#公开
摘要：本申请涉及微波源技术领域，具体提供了一种工作点可调的微波源、调节方法及MPCVD设备，该微波源包括：环形器；激励波导，与环形器的第一端口连接；三销钉波导，其输出端用于连接工作负载；磁控管，设置在激励波导上；三销钉调节器，设置在三销钉波导上；波状态检测器，其两端分别与三销钉波导的输入端和环形器的第二端口连接，用于获取三销钉波导的驻波信息和相位信息；可调负载，与环形器的第三端口连接，用于部分吸收反射微波；该微波源能够通过三销钉调节器调节磁控管的工作点。
主权项：1.一种工作点可调的微波源，所述工作点可调的微波源包括磁控管、激励波导、环形器、三销钉波导和三销钉调节器，所述激励波导与所述环形器的第一端口连接，所述磁控管设置在所述激励波导上，所述三销钉调节器设置在所述三销钉波导上，所述三销钉波导的输出端用于连接工作负载，其特征在于，所述工作点可调的微波源还包括：波状态检测器，其两端分别与所述三销钉波导的输入端和所述环形器的第二端口连接，用于获取所述三销钉波导的驻波信息和相位信息；可调负载，与所述环形器的第三端口连接，用于部分吸收反射微波；所述可调负载包括波导管、假负载和可调销钉，所述假负载镶嵌在所述波导管中，所述可调销钉插入所述波导管中，所述可调销钉用于调节所述波导管的第一反射功率，所述第一反射功率阈值范围为30%-50%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华实验室 一种工作点可调的微波源、调节方法及MPCVD设备
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