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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：本发明公开了一种高精度低缺陷环形抛光用复合抛光盘及其加工方法，复合抛光盘包括：抛光盘基盘，其上设置有沥青层，沥青层表面开设沟槽，形成布满其表面的沥青块结构后，采用大尺寸修正盘修整沥青层的表面获得加工光学元件面形精度符合要求的基面，在此时获得的沥青层表面对应干净的沥青块结构上粘结阻尼布抛光垫，使阻尼布抛光垫与沥青块结构协同抛光光学元件。本发明采用阻尼布抛光垫代替沥青层与光学元件直接接触和抛光，能够实现无缺陷或低缺陷加工，避免沥青抛光盘直接接触和抛光光学元件时容易产生划痕等缺陷的问题。阻尼布抛光垫粘贴在沥青层上，沥青层具有良好的柔性，通过调整修正盘的径向位置来改变复合抛光盘或沥青层的凹凸形状，改善元件抛光精度。
主权项：1.一种高精度低缺陷环形抛光用复合抛光盘，包括：抛光盘基盘11，所述抛光盘基盘11上设置有沥青层12，其特征在于，所述沥青层12表面开设沟槽，形成布满其表面的沥青块结构后，采用大尺寸修正盘修整所述沥青层12的表面获得加工光学元件3面形精度符合要求的基面，在此时获得的沥青层12表面对应干净的所述沥青块结构上粘结阻尼布抛光垫13，使所述阻尼布抛光垫13与所述沥青块结构协同抛光光学元件3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种高精度低缺陷环形抛光用复合抛光盘及其加工方法
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