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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2023-11-28
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118143982A
主分类号：B25J15/00
分类号：B25J15/00;B25J9/16
优先权：["20230803 JP 2023-127027","20221206 US 63/430,398"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明提供能够抑制末端执行器上的基片的位置偏移的垫和末端执行器。本发明的末端执行器用的垫包括基部和主部。主部在第1方向上与基部相连。主部包括下表面、第1端、第2端和上表面。下表面在与第1方向交叉的方向上从基部伸出。第1端为主部的在与第1方向正交的第2方向上的一端。第2端为主部的在第2方向上的另一端。第2端使主部和垫在第2方向上终止。包括下表面的基准面与上表面之间的距离，随着从第1端向第2端去而增加。上表面在第2端相对于基准面具有最大的高度。主部具有弹性。主部在第2端的下方形成有空间。
主权项：1.一种垫，其为基片输送装置的末端执行器用的垫，其特征在于，包括：基部；和在第1方向上与所述基部相连的主部，所述主部包括：下表面，其在与所述第1方向交叉的方向上从所述基部伸出；第1端，其为所述主部的在与所述第1方向正交的第2方向上的一端；第2端，其为所述主部的在所述第2方向上的另一端，且该第2端使所述主部和所述垫在所述第2方向上终止；和上表面，包括所述下表面的基准面与所述上表面之间的距离，随着从所述第1端向所述第2端去而增加，所述上表面在所述第2端相对于所述基准面具有最大的高度，所述主部具有弹性，且在所述第2端的下方形成有空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 垫和末端执行器
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