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申请/专利权人：河南理工大学
申请日：2024-04-29
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118151500A
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20;G03F1/50
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要：本发明涉及一种基于超材料的低损耗异质波导超分辨光刻结构，属于超分辨光刻领域。该结构包括金属光栅层、介质金属多层膜组成的双曲超材料层、光刻胶层、金属介质多层膜组成的超材料层和硅衬底层。所述介质金属多层膜组成的双曲超材料层具有滤波特性和支持高频横向波矢的传播，其在光轴传播方向的等效介电常数实部为正，且尽量与光刻胶的介电常数匹配，虚部尽可能小，垂直传播方向的等效介电常数实部是负数，虚部尽可能小。所述金属介质多层膜组成的超材料层在传播方向等效介电常数的实部为正，且尽量与光刻胶的介电常数匹配。该结构能有效抑制光波在光刻结构中传播、干涉时的能量损耗问题，提高干涉图形的深宽比，提升光刻图形质量。
主权项：1.一种基于超材料的低损耗异质波导超分辨光刻结构，其特征在于，该结构包括由上而下的金属光栅层、介质金属多层膜组成的双曲超材料层、光刻胶层、金属介质多层膜组成的超材料层和硅衬底层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南理工大学 一种基于超材料的低损耗异质波导超分辨光刻结构
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