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申请/专利权人：三星电子株式会社
申请日：2023-08-17
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118150962A
主分类号：G01R31/26
分类号：G01R31/26;G01N21/3586
优先权：["20221206 JP 2022-194644","20230203 KR 10-2023-0014690"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：提供了测量设备和测试设备。测量设备包括：第一分束器；衍射光栅；光学照射系统；光学会聚系统，其被配置为会聚从样品辐射的电磁波EH；时域检测器，其被配置为每当其光路长度在延迟机构中已经改变的触发光束入射时检测电磁波EH；以及控制器，其被配置为利用振幅调制元件的驱动频率锁相检测电磁波EH，其中，控制器通过对检测到的电磁波EH的时域波形进行傅立叶变换以获得频域波形并且对所获得的频域波形中的频段进行滤波，来获得测量部分的电场的大小和方向。
主权项：1.一种测量设备，包括：第一分束器，其被配置为将脉冲激光束分成泵浦光束和触发光束；振幅调制元件，其在所述泵浦光束的光路上；衍射光栅，其被配置为使所述泵浦光束色散；光学照射系统，其被配置为照射样品以将色散的泵浦光束会聚在所述样品的测量部分上；光学会聚系统，其被配置为会聚从由所述泵浦光束照射的所述样品辐射的电磁波；延迟机构，其被配置为改变所述触发光束的光路长度；时域检测器，其被配置为每当其光路长度在所述延迟机构中已经改变的所述触发光束入射时，检测由所述光学会聚系统会聚的所述电磁波；以及控制器，其被配置为利用所述振幅调制元件的驱动频率来锁相检测由所述时域检测器检测到的所述电磁波，其中，所述控制器被配置为对检测到的电磁波的时域波形执行傅立叶变换以获得频域波形，并且通过对所获得的频域波形中的频段进行滤波来获得所述测量部分的电场的大小和方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星电子株式会社 测量设备和具有该测量设备的测试设备
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