申请/专利权人:西安晟光硅研半导体科技有限公司
申请日:2024-05-09
公开(公告)日:2024-06-07
公开(公告)号:CN118143467A
主分类号:B23K26/38
分类号:B23K26/38;B23K26/70;B23K103/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.06.25#实质审查的生效;2024.06.07#公开
摘要:本发明涉及一种金刚石切片装置及其切片方法,金刚石切片装置包括:底座、翻转座、翻转台、粘接板和压簧;底座的中部沿第一方向设置有俯仰调节轴,翻转座通过俯仰调节轴进行俯仰角度调节;翻转座的上部设置有V型槽;翻转台上设置有翻转轴,翻转轴沿第二方向设置,翻转轴可转动设置于V型槽内;定位板和晶体调节板设置于翻转轴的两端,定位板与翻转座固定连接;若干个压簧设置于晶体调节板与粘接板之间,晶体调节板可调节连接粘接板,待切片的金刚石晶体通过粘接胶粘接在粘接板上。本发明通过翻面切割极大的提升了切片效率,通过多种调平校准保证了装夹精度和加工精度,实现了对晶体厚度差的精确控制,保证了切片质量。
主权项:1.一种金刚石切片装置,其特征在于,包括:底座100、翻转座200、翻转台300、粘接板400和压簧500;所述底座100的中部沿第一方向设置有俯仰调节轴130,所述俯仰调节轴130向上凸起,所述翻转座200设置于所述俯仰调节轴130上,所述翻转座200通过所述俯仰调节轴130进行俯仰角度调节;所述翻转座200的上部设置有V型槽210,所述V型槽210的开口方向向上;所述翻转台300上设置有翻转轴310,所述翻转轴310沿第二方向设置,所述翻转轴310可转动设置于所述V型槽210内;定位板320和晶体调节板330沿所述第二方向设置于所述翻转轴310的两端,所述定位板320与所述翻转座200固定连接,所述晶体调节板330可调节连接所述粘接板400;若干个所述压簧500设置于所述晶体调节板330与所述粘接板400之间;待切片的金刚石晶体通过粘接胶粘接在所述粘接板400上;其中,所述第二方向与所述第一方向相互垂直。
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权利要求:
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