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申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司
申请日：2020-03-27
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN111203810B
主分类号：B24C9/00
分类号：B24C9/00;B24C5/02;B24C5/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2024.05.24#著录事项变更;2020.06.23#实质审查的生效;2020.05.29#公开
摘要：一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置，涉及半导体行业生产技术领域，包括长方体形状顶部开口的收集器外壳，收集器外壳两侧内壁上分别设置一块具有4层滑道的四氟板，收集器外壳内还设有7块头尾联接的可移动滑板，可移动滑板的两侧安装在四氟板上的滑道内沿滑道滑动，位于中间位置的可移动滑板为背面软损伤加工设备的喷枪联接板，其安装在最上层的滑道内且其中心位置设有长方形的喷枪架穿孔。本发明有益效果：在防止加工设备粉尘油污掉落造成硅片表面加工不均匀形成暗点，进而造成硅片报废造成严重的经济损失的同时，不影响硅片的整体加工，提高了产能，大大降低企业经济损失。
主权项：1.一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置，其特征在于：包括长方体形状的收集器外壳（1），收集器外壳（1）两侧内壁上分别设置一块具有4层滑道（2）的四氟板（3），收集器外壳（1）内还设有7块头尾联接的可移动滑板（4），可移动滑板（4）的两侧安装在四氟板（3）上的滑道（2）内沿滑道（2）滑动，位于中间位置的可移动滑板（4）为背面软损伤加工设备的喷枪联接板，其安装在最上层的滑道（2）内且其中心位置设有长方形的喷枪架穿孔（5），与中间位置的可移动滑板（4）相邻的两块可移动滑板（4）安装在第二层的滑道（2）内，与第二层滑道（2）内的可移动滑板（4）相邻的两块可移动滑板（4）安装在第三层的滑道（2）内，位于两端的两块可移动滑板（4）安装在最底层的滑道（2）内，每块可移动滑板（4）的两端分别设置翻边Ⅱ（9），喷枪联接板两端的翻边Ⅱ（9）方向相同，其余可移动滑板（4）两端的翻边Ⅱ（9）方向相反，相邻两块可移动滑板（4）通过方向相反的翻边进行联接；所述收集器外壳（1）的两侧分别设有向外的翻边Ⅰ（6），每侧翻边Ⅰ（6）上开设3个螺纹孔（7），通过螺纹孔（7）和螺栓将收集装置固定在背面软损伤加工设备上；所述喷枪联接板上表面设有一层密封垫，通过喷枪联接板上开设的密封垫固定孔（8）固定密封垫。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置
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