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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2020-10-27
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN114484039B
主分类号：F16K31/04
分类号：F16K31/04;F16K37/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2022.05.31#实质审查的生效;2022.05.13#公开
摘要：本发明提供一种阀控制装置、真空阀以及阀控制方法，可确保反馈控制的控制稳定性并且实现响应性提高。阀控制装置2包括：存储部23，存储反馈增益，所述反馈增益是与依存于阀本体1的阀体开度的参数对应地设定；以及调压控制器21，基于反馈增益而对阀体开度进行反馈控制，反馈增益是以由阀体驱动系统的主要振动所引起的、调压控制器21的振动性频率的灵敏度函数的大小的极大值成为与控制稳定性相关的规定基准值以下的方式设定。
主权项：1.一种阀控制装置，其中，包括：存储部，存储反馈增益，所述反馈增益是与依存于阀的阀体开度的参数对应地设定，所述参数为由与所述阀体开度对应的实效排气速度及安装有阀的腔室的容积所算出的时间常数的倒数；以及反馈控制器，基于所述反馈增益对所述阀体开度进行反馈控制，所述反馈增益设定为由阀体驱动系统的主要振动引起的所述反馈控制器的振动性频率的灵敏度函数的大小的极大值成为与控制稳定性相关的规定基准值以下，所述反馈增益设定为1时并且所述灵敏度函数的大小的极大值等于所述规定基准值时的所述参数的点值为界限值，若所述参数小于所述界限值时，将所述反馈增益设定为大于1，若所述参数大于所述界限值时，将所述反馈增益设定为小于1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社岛津制作所 阀控制装置、真空阀以及阀控制方法
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