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【实用新型】一种ITO粉料的装粉装置_先导薄膜材料(广东)有限公司_202322381765.1 

申请/专利权人:先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日:2023-09-01

公开(公告)日:2024-06-07

公开(公告)号:CN221089409U

主分类号:B28B3/02

分类号:B28B3/02;C23C14/34;C04B35/453;B28B7/44

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.07#授权

摘要:本实用新型涉及靶材成型技术领域,公开了一种ITO粉料的装粉装置,其包括:外模框、密封垫片、密封座、螺杆以及密封罩;外模框上开设有用于排气的第一螺纹孔;密封座上开设有第二螺纹孔;密封座上设置有螺纹支撑柱;密封座通过所述内螺纹与所述螺纹支撑柱螺纹连接;所述螺杆依次穿设所述第二螺纹孔、所述密封垫片以及所述第一螺纹孔。本实用新型通过螺杆依次将穿设第二螺纹孔、密封垫片以及第一螺纹孔以将外模框、密封垫片以及密封座相固定,然后将密封罩套设通过螺纹连接的方式与螺纹支撑柱相连接,以使密封座与外模框之间通过密封垫片进行密封,密封座与密封罩之间通过内螺纹与螺纹支撑柱进行密封,以此实现对第一螺纹孔的密封作用。

主权项:1.一种ITO粉料的装粉装置,其特征在于,包括:外模框、密封垫片、密封座、螺杆以及密封罩;所述外模框上开设有用于排气的第一螺纹孔;所述密封座上开设有第二螺纹孔;所述密封座上设置有螺纹支撑柱;所述密封罩的内壁设置有与所述螺纹支撑柱相适配的内螺纹;所述密封座通过所述内螺纹与所述螺纹支撑柱螺纹连接;所述螺杆依次穿设所述第二螺纹孔、所述密封垫片以及所述第一螺纹孔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种ITO粉料的装粉装置

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