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申请/专利权人：苏州盛拓半导体科技有限公司
申请日：2023-12-04
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN221101266U
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权
摘要：本实用新型公开了一种直写曝光机镜头宏动标定装置，包括用于搭载曝光机的曝光机搭载架，还包括第一标定机构；所述第一标定机构包括沿X轴向输出的第一线性自由度，所述第一线性自由度驱动并连接于第二标定机构；所述第二标定机构包括沿X轴向作为旋转轴的第一转动自由度；本实用新型的技术采用匚形布局，包括多个标定机构，每个机构提供不同自由度的运动。这增加了自由度，允许在多个维度上进行高度精确的位置和角度调整。在宏动调整的大方向基础上，通过采用宏动和微动调整的平衡，本实用新型的技术可以快速完成粗略的宏动调整，同时还能进行更精细的微动调整，从而满足各种标定和校准任务的需求。
主权项：1.一种直写曝光机镜头宏动标定装置，包括用于搭载曝光机的曝光机搭载架（1），其特征在于：还包括第一标定机构（2）；所述第一标定机构（2）包括沿X轴向输出的第一线性自由度，所述第一线性自由度驱动并连接于第二标定机构（3）；所述第二标定机构（3）包括沿X轴向作为旋转轴的第一转动自由度，以及由至少三个第二线性自由度沿X轴环形阵列式排布而组成的万向自由度，所述第一转动自由度驱动于所述万向自由度的行程起始角度，所述万向自由度连接并作用于第三标定机构（4）；所述第三标定机构（4）包括沿Z轴向作为旋转轴的第二转动自由度，以及用于调节所述曝光机搭载架（1）沿X轴向线性调节的第三线性自由度；所述第二转动自由度调节于所述第三线性自由度的行程起始点位；所述第一标定机构（2）、所述第二标定机构（3）和所述第三标定机构（4）共同组成匚字形的布局，所述曝光机位于所述匚字形的中部镂空位置处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州盛拓半导体科技有限公司 一种直写曝光机镜头宏动标定装置
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