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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
申请日：2023-10-25
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN221102056U
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;H01L21/677
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权
摘要：本申请涉及一种可调平的升降位移台，包括承载机构、顶升机构和调平机构。承载机构包括载物台，载物台具有载物平面和背向于载物平面的安装平面，顶升机构包括多个顶升模组，顶升模组沿垂直于载物台的方向做升降动作，调平机构包括多个柔铰模组，柔铰模组一端和顶升模组一一对应连接，柔铰模组另一端和安装平面连接，柔铰模组包括柔性簧片，柔性簧片平行于载物平面。调节可调平的升降位移台的结构紧凑、重量轻，被动调节工况时，各顶升模组位移量一致，柔性簧片自适应形变以消除物料与基板之间的夹角。主动调节工况时，顶升模组具有不同的位移量，顶升模组相对应的柔铰模组根据位移差自适应形变，调节载物台的俯仰角度，调平效率高、精度高。
主权项：1.一种可调平的升降位移台，其特征在于，所述可调平的升降位移台包括：承载机构，所述承载机构包括载物台，所述载物台具有载物平面和背向于所述载物平面的安装平面；顶升机构，所述顶升机构包括多个顶升模组，所述顶升模组能够沿垂直于所述载物台的方向做升降动作；调平机构，所述调平机构包括多个柔铰模组，所述顶升机构通过所述调平机构连接于所述承载机构，多个所述柔铰模组的一端和多个所述顶升模组一一对应连接，多个所述柔铰模组的另一端和所述载物台的所述安装平面连接；所述柔铰模组包括柔性簧片，所述柔性簧片平行于所述载物平面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 可调平的升降位移台
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