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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日：2023-06-26
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118169785A
主分类号：G02B3/00
分类号：G02B3/00;B23K26/362;B23K26/12
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本发明公开了一种CO2激光升华熔石英材料制备微凸透镜阵列的方法，按照以下步骤进行：S1、设定利用CO2激光实现巨大温度差升华熔石英材料的参数；S2、设定利用CO2激光对升华熔石英材料进行单层加工的参数；S3、设定利用矩阵式CO2激光分层升华熔石英材料的多层加工路径；S4、按照步骤S3中设定的多层加工路径进行至少一次加工。采用以上技术方案，工艺简洁，易于实现，制备方法经济高效，克服了CO2激光直接制备微凸透镜阵列的技术问题，解决了CO2激光直接制备微透镜阵列过程中出现的熔融流动破坏微透镜表面轮廓的的难题。该方法不仅可以实现一维柱透镜阵列，而且可以方便地实现正方形微透镜阵列的制备，制备的微透镜凸面大矢高，抗激光损伤。
主权项：1.一种CO2激光升华熔石英材料制备微凸透镜阵列的方法，其特征在于，按照以下步骤进行：S1、设定利用CO2激光实现巨大温度差升华熔石英材料的参数：升温速度大于等于1.0×109Ks，加温至气化温度以上；降温速度大于等于6×106Ks，保持基底为固态，避免基底熔融流动；S2、设定利用CO2激光对升华熔石英材料进行单层加工的参数：利用CO2激光采用平行线扫描进行拼接的方式对升华熔石英材料实现单层加工，形成每条平行线的相邻光斑的重叠率大于等于77.8％，相邻平行线之间的相邻光斑的重叠率大于等于85.0％；S3、设定利用矩阵式CO2激光分层升华熔石英材料的多层加工路径，该多层加工路径通过步骤S2中的单层加工参数逐层组合而成；S4、按照步骤S3中设定的多层加工路径进行至少一次加工，利用矩阵式CO2激光分层升华熔石英材料，制备得到微凸透镜阵列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种CO2激光升华熔石英材料制备微凸透镜阵列的方法
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