龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：公开一种用于将物品搬入以及搬出到设备内部的物品搬入搬出装置、基板处理设备及物品搬入搬出方法。根据本发明的物品搬入搬出装置可以包括：多个层，在上下方向上配置于彼此不同的高度，并将载具支承且将其在水平方向上移送；升降部，配置于所述多个层一侧末端，从OHT接收载具并在所述多个层之间升降；以及控制器，控制所述升降部。
主权项：1.一种物品搬入搬出装置，用于将物品供应到处理设备内部，其中，所述物品搬入搬出装置包括：多个层，在上下方向上配置于彼此不同的高度，并将载具在水平方向上移送；第一升降部，配置于所述多个层的一侧末端，并从OHT接收载具而在所述多个层之间升降；第二升降部，配置于所述多个层的另一侧末端，并对所述多个层进行载具的装载以及卸载；以及控制器，控制所述第一升降部以及所述第二升降部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 物品搬入搬出装置、基板处理设备及物品搬入搬出方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号