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申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日：2024-03-21
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN118168179A
主分类号：F25B7/00
分类号：F25B7/00;F25B40/02;F25B40/06;F25B49/02;F25B41/31
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.11#公开
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，提供一种复叠制冷系统及控制方法，包括高温级制冷系统和低温级制冷系统，高温级制冷系统包括依次设置的第一压缩机、冷凝器、回热器和蒸发冷凝器；低温级制冷系统包括依次设置的第二压缩机、经济器和换热器；高温级制冷系统与低温级制冷系统通过蒸发冷凝器进行换热，低温级制冷系统适于通过换热器与循环系统进行换热。高温级通过回热器提高进入蒸发器前制冷剂的过冷度和进入压缩机前的吸气过热度，既保证系统单位制冷量提升，又保证系统稳定运行。而低温级则通过经济器提高进入蒸发器前制冷剂的过冷度，并给压缩机喷入制冷剂以降低压缩机排气温度，保证单位制冷量提升并确保稳定运行，提高低温工况下的制冷能力。
主权项：1.一种复叠制冷系统，其特征在于，包括：依次设置的高温级制冷系统和低温级制冷系统，所述高温级制冷系统包括依次设置的第一压缩机、冷凝器、回热器和蒸发冷凝器；所述低温级制冷系统包括依次设置的第二压缩机、经济器和换热器；所述高温级制冷系统与所述低温级制冷系统之间通过所述蒸发冷凝器进行换热，所述低温级制冷系统适于通过所述换热器与循环系统进行换热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 复叠制冷系统及控制方法
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