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申请/专利权人：苏州博康智能科技有限公司
申请日：2021-09-23
公开（公告）日：2024-06-11
公开（公告）号：CN113838781B
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/677
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.11#授权;2022.01.11#实质审查的生效;2021.12.24#公开
摘要：本发明提供一种晶圆取送装置，其包括：直线位移模组、夹持悬臂模组以及感应报警模组；所述夹持悬臂模组通过一底板与所述直线位移模组的输出端传动连接，所述直线位移模组带动所述夹持悬臂模组进行左右平移运动；所述感应报警模组集成于所述夹持悬臂模组上，且在所述夹持悬臂模组平移运动受阻时发送报警信号。本发明能够在对晶元取出、送入过程中实时检测卡料异常报警，可以有效防止晶元持续受外力损坏而造成损失；将执行动力的气缸等元件与晶元夹持部位分离布置，可以使晶元夹持部位结构更为紧凑轻便，零件数量更少，针对大直径晶元，需要更长的夹持臂的前提下，紧凑性设计的结构将使夹持臂受弯矩更小，以达到提升整体机构运行的精度、平稳性。
主权项：1.一种晶圆取送装置，其特征在于，所述晶圆取送装置包括：直线位移模组、夹持悬臂模组以及感应报警模组；所述夹持悬臂模组通过一底板与所述直线位移模组的输出端传动连接，所述直线位移模组带动所述夹持悬臂模组进行左右平移运动；所述夹持悬臂模组包括：夹持悬臂、夹紧气缸、连杆、转轴以及夹爪组件；所述夹持悬臂的一端与所述底板相连接；所述夹爪组件安装于与所述夹持悬臂的另一端，其包括：相对设置的上夹爪与下夹爪，所述上夹爪与所述转轴的一端相连接；所述转轴的另一端通过所述连杆与所述夹紧气缸的活塞杆相连接，所述夹紧气缸通过所述连杆和转轴带动所述上夹爪相对所述下夹爪进行夹持动作；所述夹紧气缸的活塞杆通过一关节接头与所述连杆相连接，且所述关节接头与连杆由一销轴贯穿连接；所述夹持悬臂模组还包括升降气缸，所述升降气缸带动所述夹持悬臂沿一导轨进行上下运动；所述感应报警模组集成于所述夹持悬臂模组上，且在所述夹持悬臂模组平移运动受阻时发送报警信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州博康智能科技有限公司 晶圆取送装置
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