申请/专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司

申请日：2024-02-26

公开（公告）日：2024-06-11

公开（公告）号：CN117787018B

主分类号：G06F30/20

分类号：G06F30/20;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.11#授权;2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本申请涉及一种工艺参数确定方法及其系统、生产系统。该工艺参数确定方法包括：获取历史产品数据及历史工艺数据；根据历史产品数据和历史工艺数据之间的对应关系建立匹配模型；确定目标产品参数及对应的m个初始工艺参数；其中，m≥2且为整数；根据匹配模型，确定各初始工艺参数独立调节时目标产品参数的第一变化量；根据匹配模型，确定各初始工艺参数同时调节时目标产品参数的第二变化量；根据第一变化量和第二变化量共同确定目标产品参数的补偿值；根据初始工艺参数的数量、第一变化量、补偿值以及历史产品数据分别确定各初始工艺参数对应的目标工艺参数。该工艺参数确定方法可以提高工艺参数确定的准确度，从而可以确保并改善产品良率。

主权项：1.一种工艺参数的确定方法，其特征在于，包括：获取历史产品数据及历史工艺数据；根据所述历史产品数据和所述历史工艺数据之间的对应关系建立匹配模型，所述历史产品数据包括：宽度值、长度值、深度值、侧壁角度值以及膜层厚度值中的至少一种；所述历史工艺数据包括：分割电容值、气体流量比例、电极温度、电信号功率以及电信号频率中的至少两种；确定目标产品参数及对应的m个初始工艺参数；其中，m≥2且为整数，其中，所述目标产品参数是指所述历史产品数据中需要进行过程监控和结果控制的产品参数；根据所述匹配模型，确定各所述初始工艺参数独立调节时所述目标产品参数的第一变化量；根据所述匹配模型，确定各所述初始工艺参数同时调节时所述目标产品参数的第二变化量；根据所述第一变化量和所述第二变化量共同确定所述目标产品参数的补偿值；根据每一个所述初始工艺参数的数量、所述第一变化量、所述补偿值以及所述历史产品数据分别确定每一个所述初始工艺参数对应的目标工艺参数；其中，所述根据所述第一变化量和所述第二变化量共同确定所述目标产品参数的补偿值包括：根据所述第一变化量和所述第二变化量，共同确定各待处理区域对应的所述目标产品参数的补偿值；其中，各所述待处理区域对应的所述目标产品参数的补偿值基于如下公式得到： ；其中，Ci为第i个所述待处理区域对应的所述目标产品参数的补偿值；Dij为第j个所述初始工艺参数独立调节一个单位量时，第i个所述待处理区域对应的所述目标产品参数的第一变化量；Ti为各所述初始工艺参数均同时调节一个单位量时，第i个所述待处理区域对应的所述目标产品参数的第二变化量；1≤i≤n且为整数，1≤j≤m且为整数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥晶合集成电路股份有限公司 工艺参数确定方法及其系统、生产系统

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