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低温泵、低温泵的制造方法及使用方法 

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申请/专利权人:住友重机械工业株式会社

摘要:本发明的课题在于保护采用了防振结构的低温泵。低温泵10具备:低温泵真空容器12;超低温制冷机14;防振结构16,将超低温制冷机14连接于低温泵真空容器12;可拆卸的限制件70,与防振结构16并列地将超低温制冷机14连接于低温泵真空容器12,从而限制超低温制冷机14与低温泵真空容器12之间的防振结构16伸长及收缩。

主权项:1.一种低温泵,其特征在于,具备:超低温制冷机;低温泵真空容器;防振结构,将所述超低温制冷机连接于所述低温泵真空容器;以及可拆卸的限制件,与所述防振结构并列地将所述超低温制冷机连接于所述低温泵真空容器,从而限制所述超低温制冷机与所述低温泵真空容器之间的所述防振结构的伸长及收缩。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 住友重机械工业株式会社 低温泵、低温泵的制造方法及使用方法

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