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申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日：2022-12-14
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118195991A
主分类号：G06T7/00
分类号：G06T7/00;G06V10/25;G06V10/28;G06V10/44;G06V10/34
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：一种用于检测存储器装置中的字线短路的方法包括：在针对所述存储器装置中的字线接触通孔CT的明电压对比BVC图像中确定感兴趣区域ROI，所述CT包括至少一条第一字线中的被电子充电的第一CT以及至少一条第二字线中的未被电子充电的第二CT，所述ROI区域包括所述至少一条第一字线；确定所述ROI区域中的每个CT的坐标；审查所述ROI区域中的每个CT的坐标位置处的灰度值以确定所述CT是否为有缺陷的CT；以及响应于确定有缺陷的CT而显示所述有缺陷的CT。
主权项：1.一种用于检测存储器装置中的字线短路的方法，包括：在针对所述存储器装置中的字线接触通孔CT的明电压对比BVC图像中确定感兴趣区域ROI，所述CT包括至少一条第一字线中的被电子充电的第一CT以及至少一条第二字线中的未被电子充电的第二CT，并且所述ROI区域包括所述至少一条第一字线；确定所述ROI区域中的每个CT的坐标；审查所述ROI区域中的每个CT的坐标位置处的灰度值，以确定所述CT是否为有缺陷的CT；以及响应于确定所述有缺陷的CT而显示所述有缺陷的CT。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长江存储科技有限责任公司 用于检测存储器装置中的字线短路的方法和装置
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