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申请/专利权人：三星显示有限公司
摘要：公开了检查设备和检查方法。检查设备包括：被配置为将光束照射到包括第一部和与第一部不同的第二部的检查对象的光源；与检查对象间隔开并且在照射到检查对象之后路径改变的光束入射到其上的检查模块；以及在检查对象和检查模块之间并且路径改变的光束的至少一部分穿过其的分离器。分离器包括：限定有开口的框架；以及在开口中并且被配置为改变穿过分离器的光束的路径的分离构件。
主权项：1.一种检查设备，包括：光源，所述光源被配置为将光束照射到包括第一部和与所述第一部不同的第二部的检查对象；检查模块，所述检查模块与所述检查对象间隔开，并且在照射到所述检查对象之后路径改变的光束入射到所述检查模块上；以及分离器，所述分离器在所述检查对象和所述检查模块之间，并且路径改变的所述光束的至少一部分穿过所述分离器，其中，所述分离器包括：框架，在所述框架中限定有开口；以及分离构件，所述分离构件在所述开口中并且被配置为改变穿过所述分离器的光束的路径。
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