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申请/专利权人：江苏中德电子材料科技有限公司
申请日：2020-08-27
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118192170A
主分类号：G03F7/039
分类号：G03F7/039;G03F7/00;G03F7/004
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明涉及一种显影完全正性光刻胶以及形成光刻胶图案的方法，该光刻胶的组分及其重量百分数为：20‑40％线性酚醛环氧树脂、0.5‑1.5％环氧树脂的潜伏型固化剂、1‑15％线性酚醛树脂、3‑25％重氮类光敏剂、20‑65％溶剂、0‑2％其他助剂，其中所述环氧树脂的潜伏型固化剂与线性酚醛环氧树脂的反应固化温度为100‑120℃。与现有技术相比，本发明通过添加线性酚醛环氧树脂以及潜伏型固化剂搭配线性酚醛树脂，使得曝光区光刻胶可以显影完全；潜伏型固化剂搭配线性酚醛树脂作为环氧树脂的高温固化剂，提高了光刻胶浮雕图案的耐温性，有效地避免了后期干刻阶段光刻胶浮雕图案发生变形，使得光刻图案保持良好的分辨率。
主权项：1.一种显影完全正性光刻胶，其特征在于：其组分及其重量百分数为：20-40％线性酚醛环氧树脂、0.5-1.5％环氧树脂的潜伏型固化剂、1-15％线性酚醛树脂、3-25％重氮类光敏剂、20-65％溶剂、0-2％其他助剂，其中，所述环氧树脂的潜伏型固化剂与线性酚醛环氧树脂的反应固化温度为100-120℃，所述潜伏型固化剂为双氰胺，所述其他助剂包括粘结促进剂和表面活性剂，所述粘结促进剂的含量为0.2-1％，所述表面活性剂的含量为0.3-1％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏中德电子材料科技有限公司 显影完全正性光刻胶以及形成光刻胶图案的方法
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