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GMI磁传感器及GMI磁传感器的制备方法 

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申请/专利权人:北京科技大学

摘要:本申请涉及一种GMI磁传感器及GMI磁传感器的制备方法。其中,该GMI磁传感器包括:第一衬底、非晶丝、焊盘以及信号拾取线圈,其中,第一衬底的材质为玻璃或者硅,设置为固定非晶丝;非晶丝,设置为采用以下工艺实现与第一衬底连接:磁控溅射、光刻、电镀;焊盘,设置为包裹在非晶丝的两端;信号拾取线圈,设置为缠绕在固定有非晶丝的第一衬底上。本申请解决了采用传统工艺制造的非晶丝GMI传感器的接触电阻分布范围宽,导致传感器性能一致性较差的技术问题。

主权项:1.一种GMI磁传感器,其特征在于,包括:第一衬底、非晶丝、焊盘以及信号拾取线圈,其中,所述第一衬底的材质为玻璃或者硅,设置为固定所述非晶丝;所述非晶丝,设置为采用以下工艺实现与所述第一衬底连接:磁控溅射、光刻、电镀;所述焊盘,设置为包裹在所述非晶丝的两端;所述信号拾取线圈,设置为缠绕在固定有所述非晶丝的所述第一衬底上。

全文数据:

权利要求:

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