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申请/专利权人:福建福顺微电子有限公司
摘要:本发明公开了一种用于响应宽波段的光电二极管,于基底上形成截止层图形;掺杂形成截止层,所述截止层为环形截止层;形成第一P型掺杂层图形;掺杂形成第一P型掺杂层,环形所述截止层环绕所述第一P型掺杂层设置;对第一P型掺杂层远离基底的一侧进行掺杂,并形成第二P型掺杂层;沉积抗反射层于第二P型掺杂层上;光刻蚀刻抗反射层,于抗反射层上形成第一通孔,制作金属引线以使金属引线与第二P型掺杂层导通。上述技术方案所制得的宽波段响应的光电二极管,通过双P型导电区、正面N型截止区、轻掺衬底形成PIN光电二极管,并通过合适的抗反射层对可见光短波段高投射率,提高了可见光波段的灵敏度,对市场的适用范围更广。
主权项:1.一种用于响应宽波段的光电二极管,其特征在于,包括步骤:于基底上形成截止层图形;掺杂形成截止层,所述截止层为环形截止层;形成第一P型掺杂层图形;掺杂形成第一P型掺杂层,环形所述截止层环绕所述第一P型掺杂层设置;对所述第一P型掺杂层远离所述基底的一侧进行掺杂,并形成第二P型掺杂层;沉积抗反射层于所述第二P型掺杂层上;光刻蚀刻所述抗反射层,于所述抗反射层上形成第一通孔,制作金属引线以使所述金属引线与所述第二P型掺杂层导通。
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权利要求:
百度查询: 福建福顺微电子有限公司 一种用于响应宽波段的光电二极管
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