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申请/专利权人：重庆大学
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118197961A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;A61L2/232
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.02#实质审查的生效;2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置；所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间；所述抑菌水洗干燥装置还包括抑菌循环系统，所述抑菌循环系统包括抑菌循环管和抑菌循环泵，所述抑菌循环管上缠绕有超导螺线圈；所述水箱上还设有振荡腔，所述振荡腔内设有压电换能器，所述振荡腔的一面连接抑菌循环管，所述振荡腔相对的另一面形成倒V字型凹陷并且连接文杜里管，所述文杜里管的出口连接矢量喷管，所述矢量喷管设置在水箱内；所述风干区间的入口处设有气帘风刀，所述气帘风刀用于沿着竖直方向吹气形成气帘，防止第二水洗区间的水汽进入风干区间。本发明解决了水洗干燥装置中的细菌问题。
主权项：1.一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置，所述抑菌水洗干燥装置包括依次连接的第一水洗区间、第二水洗区间和风干区间；所述第一水洗区间和第二水洗区间用于容纳并冲洗基板，所述第一水洗区间内设有用于向基板表面喷水的第一喷淋管，所述第二水洗区间内设有用于向基板表面喷水的第二喷淋管，所述第二喷淋管连接供水管，所述第二水洗区间底部连接水箱，所述水箱通过喷淋循环泵与第一喷淋管连接，所述第一水洗区间底部连接排水管；所述风干区间用于容纳并风干基板，所述风干区间内设有向基板表面吹气的干燥风刀；其特征在于：所述抑菌水洗干燥装置还包括抑菌循环系统，所述抑菌循环系统包括抑菌循环管和抑菌循环泵，所述抑菌循环管通过抑菌循环泵将水箱内的水引出后又送回水箱，所述抑菌循环管上缠绕有超导螺线圈，所述超导螺线圈中通入交流电并产生交变磁场；所述水箱上还设有振荡腔，所述振荡腔内设有压电换能器，所述振荡腔的一面连接抑菌循环管，所述振荡腔相对的另一面形成倒V字型凹陷并且连接文杜里管，所述文杜里管的出口连接矢量喷管，所述矢量喷管设置在水箱内；所述风干区间的入口处设有气帘风刀，所述气帘风刀用于沿着竖直方向吹气形成气帘，防止第二水洗区间的水汽进入风干区间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆大学 一种用于PAN型刻蚀液湿法刻蚀的抑菌水洗干燥装置
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