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申请/专利权人：三嵩(天津)光电科技有限公司
摘要：本发明提供一种利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长方法，属于晶体生长技术领域。所述生长方法包括以下步骤：1将坩埚放置在掺杂蓝宝石生长装置中保温装置的保温腔内；2通过控制主加热器，控制坩埚内的掺杂氧化铝原料融化成熔体程度以及间接控制坩埚底部的籽晶融化程度；3通过控制加热导热板的副加热器的功率，精确控制籽晶融化程度；4控制主加热器开始降温，在降温完成后移动冷却杆使得开始下降坩埚，同时缓慢打开坩埚底部的保温装置的底部保温部和侧保温筒之间的间隙，直至晶体生长完成；5进入退火程序。
主权项：1.一种利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长方法，所述掺杂蓝宝石生长方法包括以下步骤：1将坩埚放置在掺杂蓝宝石生长装置中保温装置的保温腔内，所述坩埚内放置有蓝宝石原料和蓝宝石籽晶；2通过控制主加热器，控制坩埚内的掺杂氧化铝原料融化成熔体程度以及间接控制坩埚底部的籽晶融化程度；3通过控制加热导热板的副加热器的功率，通过坩埚底部和导热板的接触建立第一热输运通道，使得熔体沿着籽晶的结构逐步长大，间接控制坩埚底部的导热板的热量，并传导走坩埚底部的部分热量，精确控制籽晶融化程度；4控制主加热器开始降温，在降温完成后移动冷却杆使得开始下降坩埚，同时缓慢打开坩埚底部的保温装置的底部保温部和侧保温筒之间的间隙，建立比第一热输运通道更大的第二热输运通道，直至晶体生长完成；5进入退火程序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三嵩(天津)光电科技有限公司 利用主加热器和副加热器的掺杂蓝宝石生长方法
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