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申请/专利权人：华能核能技术研究院有限公司
申请日：2024-01-31
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118186362A
主分类号：C23C16/32
分类号：C23C16/32;C23C16/458;C23C16/52
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种含层双碳化硅包覆用沉积炉，包括炉体，设置于炉体上的输液管，设置于输液管上的喷口，还包括，驱动机构，设置于炉体上的进料口，设置于进料口上的防护部，设置于炉体内部的壳体，设置于壳体内部的驱动部，以及设置于驱动部上的传动部；置物机构，包括设置于传动部上的第一插杆，设置于第一插杆上的随动部，设置于随动部上的置物盘，设置于置物盘上的第一贯穿口、置物部和升降部，以及设置于置物部上的联动部；切换机构，包括设置于联动部上的齿块，设置于齿块上的齿轮，设置于联动部上的顶起部，设置于顶起部上的稳定部。通过驱动机构、置物机构和切换机构的设置，可以增加物件侧壁和夹角缝隙处的包覆效率。
主权项：1.一种含层双碳化硅包覆用沉积炉，包括炉体100，设置于所述炉体100上的输液管200，设置于所述输液管200上的喷口300，其特征在于：还包括，驱动机构400，设置于所述炉体100上的进料口401，设置于所述进料口401上的防护部402，设置于所述炉体100内部的壳体403，设置于所述壳体403内部的驱动部404，以及设置于所述驱动部404上的传动部405；置物机构500，包括设置于所述传动部405上的第一插杆501，设置于所述第一插杆501上的随动部502，设置于所述随动部502上的置物盘503，设置于所述置物盘503上的第一贯穿口504、置物部505和升降部506，以及设置于所述置物部505上的联动部507；切换机构600，包括设置于所述联动部507上的齿块601，设置于所述齿块601上的齿轮602，设置于所述联动部507上的顶起部603，设置于所述顶起部603上的稳定部604，以及设置于所述驱动部404上的转动部605。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华能核能技术研究院有限公司 一种含层双碳化硅包覆用沉积炉
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