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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日：2024-04-01
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118224864A
主分类号：F27B9/30
分类号：F27B9/30;C30B31/18;C30B31/10;C30B31/14;C30B31/00;H01L21/68;H01L21/67;H01L21/22;G01C15/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明公开一种扩散炉支撑桨的校准方法和扩散炉，涉及半导体制备技术领域，用于提升支撑桨的校准效率和精准性。校准方法包括在支撑桨上设置多个定位点，多个定位点形成至少两条相互平行的定位线，定位线平行于支撑桨的支撑面，两条定位线关于支撑桨的平行于支撑桨长度方向的中垂面对称设置；在定位线平行于水平面时，在炉体的一端内壁上设置与定位线相对应的目标点，两个目标点关于炉体的竖直方向的轴截面对称设置；将支撑桨放入炉体内，使得两条定位线的延长线经过对应的目标点。扩散炉包括支撑桨、炉体、石英舟、传输机构和校准件，支撑桨上设置有多个定位点，炉体上设置有与定位线相对应的目标点。校准件用于校准定位线与目标点是否共线。
主权项：1.一种扩散炉支撑桨的校准方法，其特征在于，包括：在支撑桨上设置多个定位点，所述多个定位点形成至少两条相互平行的定位线，所述定位线平行于所述支撑桨的支撑面，其中两条所述定位线关于所述支撑桨的平行于所述支撑桨长度方向的中垂面对称设置；在所述定位线平行于水平面时，在炉体的一端内壁上设置与所述两条定位线分别相对应的目标点，两个所述目标点关于所述炉体的竖直方向的轴截面对称设置；将所述支撑桨放入所述炉体内，通过校准件使得所述两条定位线的延长线经过对应的所述目标点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 一种扩散炉支撑桨的校准方法和扩散炉
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