申请/专利权人:江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日:2023-10-16
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN221201116U
主分类号:H01L21/673
分类号:H01L21/673;H01L31/18
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权
摘要:本实用新型公开了一种承载舟及扩散设备,涉及光伏电池制造技术领域。该承载舟包括左侧板、右侧板、上齿杆及下齿杆,上齿杆、下齿杆分别开设有齿槽,上齿杆的两端、下齿杆的两端分别与左侧板、右侧板连接,左侧板、右侧板均为折弯状,左侧板和右侧板相对且交错布置,上齿杆平行于下齿杆。本实用新型提供的承载舟能够使基片获得一定角度的倾斜并在重力作用和齿槽的限位作用下相互贴合,从而改善基片在扩散工序中发生背面绕扩的状况,降低生产成本、提升产品性能。
主权项:1.一种承载舟,包括左侧板110、右侧板120、上齿杆130及下齿杆140,所述上齿杆130、所述下齿杆140分别开设有齿槽150,所述上齿杆130的两端、所述下齿杆140的两端分别与所述左侧板110、所述右侧板120连接,其特征在于,所述左侧板110、所述右侧板120均为折弯状,所述左侧板110和所述右侧板120相对且交错布置,所述上齿杆130平行于所述下齿杆140。
全文数据:
权利要求:
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