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申请/专利权人：南京大学
申请日：2024-04-16
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN118183641A
主分类号：C01B21/072
分类号：C01B21/072
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.14#公开
摘要：本发明公开了一种通过消除表面间隙降低AlN表面分解的高温退火方法。首先在AlN模板表面完全覆盖与AlN兼容的覆盖层材料，并进一步在两片AlN模板面对面贴敷时，夹入高纯AlN粉末，以这种贴敷形式进行后续高温退火。所制得的AlN模板表面高温退火分解大大降低，具有大面积均匀光滑的表面；本发明方法采用的工艺步骤与半导体微电子技术相兼容，适用于与AlN相关的高性能光电器件的工艺体系。
主权项：1.一种降低AlN表面分解的高温退火方法，其特征在于在AlN模板表面沉积一层覆盖层，然后将两片AlN模板采用面对面贴敷的方式摆放，在贴敷时中间夹入高纯AlN粉末，然后再对AlN模板进行高温退火处理，退火完成后去除覆盖层；所述覆盖层与AlN薄膜表面兼容，且含有Al或N元素，且能被化学腐蚀去除；所述覆盖层为金属Al薄膜层，厚度为0.5～10μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京大学 一种降低AlN表面分解的高温退火方法
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