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申请/专利权人：江苏鸣熙石英制品有限公司
申请日：2023-11-21
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192431U
主分类号：C30B31/14
分类号：C30B31/14;H01L21/673
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型是一种耐高温石英舟，包括半圆柱的石英舟体，石英舟体内呈半圆柱状的容置腔室，石英舟体两端设有与石英舟体一体成型的半圆端板，石英舟的容置腔室内设有沿舟体长度方向依次平行设置的若干个分隔体，石英舟的槽口内壁上设有与每个分隔体一一对应的联接块，每个联接块与对应的分隔体一端铰接，分隔体可沿铰接点旋转到容置空间外部；石英舟体及内部部件均耐高温，且为纯度高的材料，石英舟既可以承载硅片，又可以承载硅棒，能根据承载需求量的多少去调整半环隔板的数量，且扩散均匀，装载不稳定，使用方便，能大规模通用使用。
主权项：1.一种耐高温石英舟，其特征在于：包括半圆柱的石英舟体1，石英舟体内呈半圆柱状的容置腔室，石英舟体两端设有与石英舟体一体成型的半圆端板2，石英舟的容置腔室内设有沿舟体长度方向依次平行设置的若干个分隔体4，石英舟的槽口内壁上设有与每个分隔体一一对应的联接块5，每个联接块与对应的分隔体一端铰接，分隔体可沿铰接点旋转到容置空间外部；石英舟体中硅含量为99.99％以上的高纯度硅材料，且耐高温在1400℃以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鸣熙石英制品有限公司 一种耐高温石英舟
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