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申请/专利权人：浙江柔震科技有限公司
申请日：2023-11-30
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221192293U
主分类号：C23C14/26
分类号：C23C14/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了改良型蒸发舟及真空镀膜设备，包括舟体，舟体的两端设置第一表面和第二表面，用于与电极接触并被夹持固定；蒸发面，设置在舟体的蒸发侧，用于承载并加热蒸发金属液；还包括对应送丝位点设置在蒸发面上的预熔区，预熔区的温度介于金属熔融温度和金属真空下的蒸发温度间，且预熔区内设置金属熔融物的流动路径，以充分熔化金属熔融物后，排放至舟体的蒸发面。本实用新型通过在对应送丝位点设置预熔区，给铝丝提供充分熔融的路径氛围，降低未熔融颗粒物直接流入至高温金属液体时产生的飞溅情况。
主权项：1.一种改良型蒸发舟，包括：舟体，舟体的两端设置第一表面和第二表面，用于与电极接触并被夹持固定；蒸发面，设置在舟体的蒸发侧，用于承载并加热蒸发金属液；其特征在于：对应送丝位点设置在蒸发面上的预熔区，预熔区的温度介于金属熔融温度和金属真空下的蒸发温度间，且预熔区内设置金属熔融物的流动路径，以充分熔化金属熔融物后，排放至舟体的蒸发面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江柔震科技有限公司 改良型蒸发舟及真空镀膜设备
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