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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2020-08-27
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN111987025B
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673;H01L21/67
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2020.12.11#实质审查的生效;2020.11.24#公开
摘要：本申请实施例提供了一种立式热处理设备及其石英舟。石英舟用于承载晶圆，所述石英舟包括多个子石英舟，多个所述子石英舟同轴叠置设置，任意两个相邻的子石英舟相互连接。本申请实施例通过将多个子石英舟层叠设置构成石英舟，能有效减小石英舟在高温工艺中的热形变，从而延长了石英舟的使用寿命，进而大幅延长了立式热处理设备的维护周期，同时还提高了立式热处理设备的可靠性。另外当石英舟发生热形变后，可以仅替换发生热形变的子石英舟，从而有效提高了可维护性及可替换性，大幅降低了立式热处理设备维护成本，并且大幅降低厂商在高温工艺中因石英舟替换所产生的经济成本。
主权项：1.一种立式热处理设备的石英舟，用于承载晶圆，其特征在于，所述石英舟包括多个子石英舟，多个所述子石英舟同轴叠置设置，任意两个相邻的子石英舟相互连接；所述子石英舟包括顶板、底板以及多个立柱，所述顶板和所述底板上均设置有连接孔，所述连接孔内穿设有紧固件，任意两个相邻的所述子石英舟通过所述紧固件相互连接，所述紧固件穿过位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板，将位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板连接；所述底板和所述顶板均为环状；所述底板上设置有第一凸部，所述第一凸部位于所述底板下表面，呈环状，并与所述底板同轴设置；所述顶板上设置有第二凸部，所述第二凸部位于所述顶板上表面，呈环状，并与所述顶板同轴设置；所述底板上设置有第一凸部且所述顶板上设置有第二凸部时，所述第一凸部与所述第二凸部配合设置，位于上方的子石英舟的底板与位于下方的子石英舟的顶板通过所述紧固件连接时，所述第一凸部套设于所述第二凸部内，或者所述第二凸部套设于所述第一凸部内，以减小接触面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 立式热处理设备及其石英舟
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