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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日：2024-03-19
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118231302A
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673;C23C16/458;C23C16/50
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明提供了一种石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟，石墨舟卡点包括卡点帽和安装座；卡点帽连接安装座，且卡点帽与安装座之间形成有卡点间隙；安装座用于插接石墨舟片的安装孔，位于石墨舟片同侧的卡点间隙多个配合用于共同卡装同一片材；卡点帽用于对卡装的片材进行限位；卡点帽的边缘轮廓中对卡装的片材进行限位的部位凸起设置。本发明减小了卡点帽遮盖待镀膜面的面积，降低了寄生电场的产生概率，进而降低片材镀膜面上卡点印的概率，且降低了卡点帽卡装的片材从卡点间隙中脱落掉片的概率，有利于保护工艺过程中的片材。
主权项：1.一种石墨舟卡点，其特征在于，包括卡点帽1和安装座2；所述卡点帽1连接所述安装座2，且所述卡点帽1与所述安装座2之间形成有卡点间隙3；所述安装座2用于插接石墨舟片的安装孔，位于所述石墨舟片同侧的所述卡点间隙3多个配合用于共同卡装同一片材；所述卡点帽1的边缘轮廓上至少存在一处凸起，所述凸起在卡装所述片材时指向所述片材的内部区域，以对所述片材进行限位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 石墨舟卡点、石墨舟片及石墨舟
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