申请/专利权人:福建华佳彩有限公司
申请日:2023-11-02
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN221192290U
主分类号:C23C14/24
分类号:C23C14/24
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权
摘要:本实用新型提供一种防泄露石墨坩埚,包括有石墨坩埚主体,所述石墨坩埚主体包括有呈直筒状的石墨内层和石墨外层,所述石墨内层和石墨外层的底部均封闭,所述石墨外层套设在石墨内层的外侧,在所述石墨内层和石墨外层之间还设置有金属层,所述金属层将石墨内层包裹。本实用新型可解决现有点源石墨坩埚在使用过程中破裂导致内部被熔解金属液体泄露,造成材料的流失及设备的宕机问题。在提高石墨坩埚的使用寿命的同时,造价成本低于钽坩埚,且消除了钽坩埚长时间使用后钽金属逸出到蒸发材料中的风险,节约产品的投入成本。
主权项:1.一种防泄露石墨坩埚,其特征在于:包括有石墨坩埚主体,所述石墨坩埚主体包括有呈直筒状的石墨内层和石墨外层,所述石墨内层和石墨外层的底部均封闭,所述石墨外层套设在石墨内层的外侧,在所述石墨内层和石墨外层之间还设置有金属层,所述金属层将石墨内层包裹。
全文数据:
权利要求:
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。