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【实用新型】坩埚及单晶炉_无锡松瓷机电有限公司_202322477692.6 

申请/专利权人:无锡松瓷机电有限公司

申请日:2023-09-12

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN221166846U

主分类号:C30B15/10

分类号:C30B15/10;C30B29/06

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.18#授权

摘要:本实用新型涉及一种坩埚及单晶炉。本实用新型中的坩埚包括坩埚本体及抑流结构;坩埚本体包括侧壁及埚底;抑流结构布置在坩埚本体的侧壁内和或埚底上,抑流结构用于降低坩埚本体内盛放的硅液的对流。通过在坩埚本体内布置抑流结构,可降低坩埚本体内盛放的硅液的对流,减小硅液液面的波动;通过采用设置有抑流结构的坩埚,使单晶炉在拉制晶棒时降低了坩埚内的硅液热对流现象,提高了晶棒的品质。

主权项:1.一种坩埚,其特征在于,所述坩埚包括坩埚本体及抑流结构;其中:所述坩埚本体包括侧壁及埚底;所述抑流结构布置在所述坩埚本体的侧壁内和或埚底上,所述抑流结构用于降低所述坩埚本体内盛放的硅液的对流;所述抑流结构包括至少一根抑流柱,所述抑流柱的横截面形状为圆形、椭圆形或者带圆角的多边形,所述抑流柱的一端固定在所述坩埚本体的侧壁内或者埚底上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 无锡松瓷机电有限公司 坩埚及单晶炉

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